В области короткого УФ (0,15-0,17 мкм) ЭЛАН предлагает в качестве варианта поляризатора призмы Рошона из монокристаллического фторида магния. В отличие от призм Рошона, рассмотренных в предыдущих разделах, фторид магния является положительным кристаллом, поэтому е-луч будет отклоняться к основанию второй половины призмы. MgF₂ имеет небольшую величину двупреломления и для получения заметных углов разведения лучей требуются призмы с большими углами среза гипотенузных граней. При этом возникает противоречие между желанием увеличить рабочую апертуру призмы и наличием заготовок монокристаллов большого линейного размера вдоль оптической оси. Но призмы Рошона из фторида магния имеют самую коротковолновую границу рабочего диапазона. На рис.1 приведена спектральная зависимость угла отклонения паразитного е-луча для призмы Рошона из MgF₂, выпускаемой в ЭЛАНе.

Рис.1. Спектральные зависимости отклонения е-луча призмой Рошона из MgF2 для нормально падающего луча (Ψ0(λ)) и крайних лучей угловой апертуры +0,5˚ (Ψp(λ)), и -0,5˚ (Ψn(λ)). Длинноволновая граница рабочего диапазона определена расходимостью (сходимостью) входного излучения.

Как уже говорилось, при использовании призм Рошона самым главным является вопрос надежного разделения о- и е-пучков с последующим диафрагмированием е-луча. Последнее определяется соотношением полуугловой апертуры входного излучения, минимальным углом разведения, аппаратурно-допустимым расстоянием разведения, качеством и фокусным расстоянием объектива (в случае его применения), качеством самого входного пучка.

Таблица.

Расстояние полного разделения пучков призмой Рошона без применения фокусирующего объектива для излучения с угловой апертурой +/- 0,5˚.


Спецификация.